石英砂在以下领域有特殊要求,涵盖化学成分、纯度、粒度、稳定性及特定性能指标:
1. 半导体与集成电路
核心要求:超高纯度(SiO?纯度≥99.998%,即4N8以上),杂质含量极低(碱金属<1ppm,过渡金属<0.05ppm,放射性元素<0.01ppb)。
关键指标:
气泡与包裹体:近乎“无气泡”,避免高温下形成缺陷。
羟基含量:<5ppm,防止高温下产生气泡影响粘度。
耐高温性:需承受1600°C以上高温,且抗等离子体侵蚀能力强。
应用场景:制造晶圆熔融用石英坩埚、光刻机光掩模基板、工艺腔体内衬等。
2. 光伏行业
核心要求:高纯度(SiO?纯度≥99.99%),低铁含量(Fe?O?≤150ppm),高透光率(≥91.5%)。
关键指标:
难熔重矿物:铬铁矿及含镍矿物总量≤5ppm,单个颗粒直径≤0.25mm。
粒度控制:通过水选和分选分级实现均匀粒度分布。
应用场景:制造太阳能硅晶铸锭用石英陶瓷坩埚、光伏扩散管、氧化管等石英器件。
3. 光纤通信
核心要求:高纯度(SiO?纯度≥99.99%),极低羟基含量(<0.5ppm,甚至<0.1ppm)。
关键指标:
粒度与形状:颗粒度均匀(50-200μm),球形度好,确保气相沉积反应均匀。
光衰减性:降低光纤传输损耗,提高信号质量。
应用场景:生产光纤预制棒衬管、外包层及光芯片衬底。
4. 电光源行业
核心要求:高纯度(SiO?纯度≥99.9%),高透光率,耐高温性。
关键指标:
透光率:紫外到红外波段透光率高。
热稳定性:能承受从高温到室温的急剧温度变化(如1300°C→室温循环50次以上)。
应用场景:制造卤素灯、汞灯、紫外杀菌灯等电光源器件的石英玻璃管。
5. 航空航天与核工业
核心要求:极端环境适应性,如耐高温(2000°C→室温循环上千次)、抗辐射(中子注量>10?? n/cm?)。
关键指标:
机械性能:高强度、低热导率。
硼含量:<0.1ppm(硼是强中子吸收剂,影响反应堆效率)。
应用场景:制造火箭整流罩、隔热材料、核反应堆慢化剂及反射层。
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